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深圳市金徕技术有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

外延片等离子刻蚀机

  • 产品型号 JL-E30
  • 产品类别 定制等离子表面处理设备
  • 应用范围

    适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。



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对外延片、晶圆、塑料、金属材料等,进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。

型  号

JL-E30

等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

功  率

0~500W    可调

真空系统

真空腔体

材质

石英、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

400*200*400

腔体容积

30L

极板

1层

密封性

军工级焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

薄膜硅

气体流量计

<±1% FS

气路控制

2路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

3Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N?O?、H?等等(可选)

控制系统

1、PLC 自动控制;

2、7寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯;

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动、手动操作可切换;

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (宽高深)

重  量

280KG

设施配置

电  力

五线,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

压缩空气

干燥压缩空气CDA。

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单。


外延片等离子刻蚀机应用

1、小技巧、操作简单、易维护。

2、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计,精度高。

4、材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

6、可以根据客户需求定制。


对外延片、晶圆、塑料、金属材料等,进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。


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